1、预处理：对要灭菌的产品进行预热和加湿。将待灭菌产品移至预处理室，按灭菌细则规定的条件和参数设置进行预处理，预处理结束后在50分钟内将产品全部移至灭菌室。微生物对EO灭活的抗力受其水含量和温度的影响，预处理目的是调理产品内部的温、湿度。
预处理柜配有加湿器、加热平台及热风循环系统空气循环系统。温、湿度由计算机控制。预处理时产品排列、温湿度、及处理时间都在工艺验证时确定。
2、灭菌：产品在真空和高温、高湿的条件下暴露于环氧乙烷中。配有门封密闭及检漏系统，确保柜室的密封性能。如果检测发现漏气现象，电脑控制系统将在加入环氧乙烷之前自动中止此阶段。
灭菌柜配有E0加药和充纯氮气入口，可控制进入EO气体的温度，可按工艺要求进行氮置换和氮清洗。配有真空系统、加湿系统、加热系统、内循环风机系统及排风系统。配有先进的控制系统和管理系统，实现所有参数的自动采集和控制。
3、解析：采用通风和加热系统将产品上吸附的EO气体析出。灭菌阶段完成后，将处理过的产品移入解析室。解析室配有加热系统、循环风系统和排风系统。温度、排风间隙和时间可自动控制。
按灭菌工艺验证确认的时间运行，将产品中吸附的EO气体析出，使产品残留EO含量符合要求。强制解析温度可达50度，风机每分钟换气达20次，6～12小时的解析，eo残留完全达到甚至超过验证要求。
